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C-FLEX自由弹性转轴对半导体行业至关重要B-20 B-10 B-30轴承

发表时间：2024-12-25 14:23

C-FLEX自由弹性转轴对半导体行业至关重要

自由弹性转轴:对半导体至关重要
半导体工业多年来一直在使用自由FECT-转轴,以促进光刻制造的晶圆和集成电路的生产。随着技术的进步和新的制造方法的出现,还必须调整设备以提高速度和准确性。
在晶圆的生产过程中,有许多步骤是从创造、加工、掩蔽和检查开始的。这些过程使用了许多不同的技术,需要传感器、镜子和光束的精细运动和高频振荡。
"自由活动"是一种特别适合于这类任务的紧凑和现成的装置,除其他外,提供下列好处:
无维护操作的无限寿命
适合清洁房间和真空环境
会以高速振荡
自然顺从弹性吸收小振动

C-FLEX双头轴承（字母型号的品牌为美国C-FLEX，数字型号的品牌为美国*********）
型号直径（英寸）
±0.0005		扭力弹簧刚度 (1)负载 (2) Lc负载 (2) LtA
±.003		C min
±.003		D min
+0.005
-0.015
AD-10
6004-800		1/80.0003
0.0002		2.3
2.2		4.6
4.7		0.20.039
0.045		0.07
0.085
AD-20
6004-600		1/80.0018
0.0017		17.5
17.7		25.0
25.0		0.20.038
0.045		0.070
0.085
AD-30
6004-400		1/80.0148
0.0140		28.0
28.0		28.0
28.0		0.20.038
0.045		0.070
0.085
BD-10
6005-800		5/320.0004
0.0004		3.5
3.5		7.0
7.4		0.250.050
0.057		0.100
0.110
BD-20
6005-600		5/320.0037
0.0035		28.0
27.6		40.88
39.0		0.250.050
0.057		0.100
0.110
BD-30
6005-400		5/320.0296
0.0279		45.0
44.0		45.0
44.0		0.250.050
0.057		0.100
0.110
CD-10
6006-800		3/160.0007
0.0007		5.0
4.9		10.0
9.0		0.30.060
0.067		0.120
0.130
CD-20
6006-600		3/160.006
0.0057		40.0
39.6		60.0
56.0		0.30.060
0.067		0.120
0.130
CD-30
6006-400		3/160.0482
0.0473		63.0
63.0		63.0
63.0		0.30.060
0.067		0.120
0.130
DD-10
6008-800		1/40.0018
0.0018		9.0
8.5		18.0
19.0		0.40.083
0.090		0.165
0.175
DD-20
6008-600		1/40.0148
0.0143		70.0
70.7		100.0
100.0		0.40.083
0.090		0.165
0.175
DD-30
6008-400		1/40.1185
0.1141		115.0
113.0		115.0
113.0		0.40.083
0.090		0.165
0.175
ED-10
6010-800		5/160.0037
0.0036		14.0
14.0		28.0
29.0		0.50.105
0.112		0.210
0.220
ED-20
6010-600		5/160.0296
0.0286		110.0
110.0		150.0
156.0		0.50.105
0.112		0.210
0.220
ED-30
6010-400		5/160.2367
0.2234		175.0
176.0		175.0
176.0		0.50.105
0.112		0.210
0.220
FD-10
6012-800		3/80.0065
0.0058		20.0
19.8		40.0
42.0		0.60.128
0.135		0.255
0.265
FD-20
6012-600		3/80.0482
0.0480		160.0
159.0		220.0
225.0		0.60.128
0.135		0.255
0.265
FD-30
6012-400		3/80.4002
0.3840		250.0
253.0		250.0
253.0		0.60.128
0.135		0.255
0.265
GD-10
6016-800		1/20.0148
0.0142		35.0
35.4		70.0
75.0		0.80.173
0.180		0.345
0.355
GD-20
6016-600		1/20.1185
0.1134		280.0
283.0		380.0
400.0		0.80.173
0.180		0.345
0.355
GD-30
6016-400		1/20.9486
0.9080		450.0
450.0		450.0
450.0		0.80.173
0.180		0.345
0.355
HD-10
6020-800		5/80.0296
0.0295		55.0
55.0		110.0
117.0		10.210
0.225		0.430
0.445
HD-20
6020-600		5/80.2367
0.2321		450.0
442.0		620.0
625.0		10.210
0.225		0.430
0.445
HD-30
6020-400		5/81.894
1.8500		700.0
703.0		700.0
703.0		10.210
0.225		0.430
0.445
ID-10
6024-800		3/40.0482
0.0500		80.0
78.0		160.0
169.0		1.20.263
0.270		0.520
0.535
ID-20
6024-600		3/40.4002
0.3980		630.0
636.0		900.0
900.0		1.20.263
0.270		0.520
0.535
ID-30
6024-400		3/43.261
3.1800		1000.0
1013.0		1000.0
1013.0		1.20.263
0.270		0.520
0.535
JD-10
6032-800		10.1185
0.1175		140.0
141.0		280.0
300.0		1.60.363
0.370		0.720
0.735
JD-20
6032-600		10.9486
0.9390		1100.0
1131.0		1500.0
1600.0		1.60.363
0.370		0.720
0.735
JD-30
6032-400		17.8023
7.5200		1800.0
1800.0		1800.0
1800.0		1.60.363
0.370		0.720
0.735

美国zc.jpg.jpg美国C-FLEX-直线轴承-十字弹簧-型号B-10.jpg美国C-FLEX-直线轴承-十字弹簧-型号A-20.jpg美国C-FLEX-直线轴承-十字弹簧-型号A-20.jpg


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